潔凈室氣密測試程序的描述
潔凈室氣密測試程序的描述
日期：2025-06-02 05:16
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摘要：
潔凈室氣密測試程序：
1.確定采樣點(diǎn)的位置及數量，采樣點(diǎn)應均勻分布于潔凈室(區)的面積內，并應位于工作面高度。
2.確定單次*小采樣量與取樣時(shí)間。每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量應至少為2L，采樣時(shí)間應至少為1min，當潔凈室(區)僅有1個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，在該點(diǎn)應至少采樣3次。METone3445塵埃粒子計數器采樣流量為100L/min，因此單次取樣時(shí)間1分鐘時(shí)，能滿(mǎn)足測試要求。
3.粒子計數器的采樣探頭不得直接置于送風(fēng)口整下方。當測單向流設施的潔凈度時(shí)，采樣頭應對準氣流;當測非單向流時(shí)，采樣探頭一律朝上。
4.室內測試人員應穿潔凈服，不得超過(guò)3人，測試人員應位于測試點(diǎn)的下風(fēng)側并遠離測試點(diǎn)，并應保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)，動(dòng)作要輕，應減少人員對室內潔凈度的干擾。
5.當采樣點(diǎn)只有1個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不計算95%置信上限;當采樣點(diǎn)為1個(gè)以上10個(gè)以下時(shí)，除應計算各采樣點(diǎn)的平均值和總平均值外，還應計算計算95%置信上限。